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相干公司的新型UVtransfer是一個集成式激光系統(tǒng),用于執(zhí)行MicroLED制造中的三道重要工藝-激光剝離(LLO)、巨量轉移 (LIFT) 和激光修復。 UVtransfer可支持研發(fā)及試驗線生產,該系統(tǒng)基于高能量準分子激光技術,此技術同樣使用于LTPS顯示背板的退火工藝,并在大規(guī)模量產中得到長期驗證。 MicroLED(μLED)帶來令人興奮的機遇,有望降低超大顯示屏以及部分小型顯示屏應用的成本。到目前為止,使用μLED組裝大型顯示屏仍面臨一些挑戰(zhàn)。這是因為,數量極大的小尺寸有源裸芯片都必須從生長晶圓精確轉移到最終的玻璃基板。 為提高工藝效率并降低裸芯片成本,生長晶圓上裸芯片之間的間距和間隔極小,這些加劇了挑戰(zhàn)。裸芯片尺寸預計將來還會進一步縮減 – 從50µm降至5µm。因此,批量制造工藝必須具備可擴展性以適應這樣的更小尺寸。
UVtransfer是目前少有能夠處理三個關鍵生產步驟的可用系統(tǒng)。因為它基于相干公司強大的準分子激光技術,它的每次脈沖可以覆蓋大到16mm*2mm的區(qū)域,從而實現大規(guī)模并行設備處理。要為大型顯示屏轉移數以億計的顯示裸芯片,并讓這些顯示屏實現經濟效益,這一點至關重要。 此外,UVtransfer系統(tǒng)完全順應裸芯片尺寸變小這一必然趨勢,消除了新制造技術經常遇到的投資風險。 (文章轉載自網絡,如有侵權,請聯系刪除)
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