什么是PDMS膜？

PDMS膜指的是聚二甲基硅氧烷薄膜。

PDMS膜一般是柔軟、透明的，因具有化學(xué)惰性和良好的機(jī)械性能，目前被廣泛應(yīng)用于微流控、微型傳感器、柔性電子器件、細(xì)胞培養(yǎng)或過濾等領(lǐng)域。

（PDMS膜微孔案例 顯微鏡圖）

PDMS膜加工難點(diǎn)？

想要在PDMS膜上做高質(zhì)量微孔、切割等操作，會(huì)存在一定的難度。

這是因?yàn)椋篜DMS膜本身質(zhì)地柔軟，機(jī)械加工或熱應(yīng)力會(huì)使得材料產(chǎn)生變形、熔邊、卷邊等。

此外，PDMS具有一定的彈性，機(jī)械加工或普通激光加工完成后會(huì)有尺寸收縮或膨脹，無法保證較高的精度和一致性。

特別是涉及10-50μm以下微孔或無碳化切割時(shí)，PDMS膜的加工難度系統(tǒng)則更大。

（PDMS膜20μm微孔案例 顯微鏡圖）

如何解決PDMS膜微納加工難題？

飛秒激光作為一種非接觸式的“冷加工”，在PDMS膜加工時(shí)具有顯著優(yōu)勢(shì)，值得推薦。

（1）熱影響小，可避免熔邊、變形：飛秒激光的脈寬極短，通常在幾十到幾百飛秒之間。超短脈沖時(shí)間意味著加工過程中產(chǎn)生的熱影響區(qū)域非常小，因此可以避免PDMS膜的熱損傷和變形，保持膜的表面質(zhì)量和機(jī)械性能。

（2）加工精度高，可實(shí)現(xiàn)微小尺寸加工：飛秒激光具有極高的空間分辨率和精細(xì)加工能力，可以實(shí)現(xiàn)在PDMS膜進(jìn)行微小尺度的加工，如微孔、盲孔、微通道等。如加工6μm微孔時(shí)，可以保證一致性較高，孔徑精度控制±1μm內(nèi)。

（PDMS膜微孔入口15μm案例 放大500倍圖）

（3）非接觸式加工，可避免應(yīng)力收縮或膨脹：飛秒激光是非接觸式加工，無機(jī)械應(yīng)力作用，可避免外力拉扯或變形風(fēng)險(xiǎn)。

（PDMS膜微孔出口6μm微孔 放大1000倍圖）

轉(zhuǎn)自：微納加工自留地

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